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少子壽命測(cè)試

設(shè)備：外延片少子壽命測(cè)試儀WT-2000 Wafer Test System

廠商：匈牙利 SEMILAB

用途：1.厚外延少子壽命測(cè)試2.SiC電阻率測(cè)試

技術(shù)指標(biāo)：少子壽命測(cè)試要求外延厚度>30um；規(guī)則樣品寬度>10mm 可以點(diǎn)測(cè)或連續(xù)面測(cè)

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