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外延層載流子濃度測試

設(shè)備：汞探針CV濃度測試儀CVmap 92A

廠商：美國Four Dimensions, Inc.(簡稱4D)

用途：檢測SiC/GaN外延層載流子濃度分布

技術(shù)指標(biāo)：

具有不同面積汞接觸, 點-環(huán)接觸等功能，可測試SiC,GaN等半導(dǎo)體晶片載流子濃度分布