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臺階輪廓掃描

設(shè)備：臺階儀Dektak XT

廠商：美國Bruke

用途：通過該測試，可以得到探針移動路徑上樣品的表面起伏數(shù)據(jù)，從而分析出樣品的表面粗糙度、翹曲程度等信息。

技術(shù)指標(biāo)：

l 掃描長度： 50μm-55mm

l 垂直測量范圍： 1mm

l 臺階高度重現(xiàn)性5?, 1σ 在1μm臺階上

l 垂直分辨率：最大1?（6.5μm范圍）

l 探針曲率半徑：0.2 um ，2um

樣品臺尺寸：4英寸，6英寸，8英寸